〒345-8501 埼玉県南埼玉郡宮代町学園台4-1
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施設概要
組織図
プロジェクトメンバー
主要装置一覧
研究事業概要
薄膜および表面のナノ構造制御とその構造を利用したナノ加工の実現
ナノオーダの構造制御による機能性薄膜の創製
スーパーカーボン材のテラヘルツ帯電気特性計測技術の開発および応用
化学気相法によるカーボンナノ材料の合成
高品質ダイヤモンドおよび厚膜DLCの合成と基本特性評価
スーパーカーボンのマイクロ・ナノ金型
レーザ加工法のダイヤモンドへの適用とマイクロ造形への応用
マイクロメカニズム構成用部材としてのダイヤモンドの加工及び組み立て
プラスチック成形加工によるマイクロ部品製造技術およびインモールドアセンブル技術の開発